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Zirconiumnitrid - Sputtertarget

Mit ihrer ausgezeichneten Härte, elektrischen Leitfähigkeit und thermischen Stabilität ermöglichen sie die Abscheidung von dünnen Zirkoniumnitridschichten durch Sputtern. Zirkoniumnitridfilme werden als verschleißfeste Beschichtungen, Diffusionsbarrieren in der Mikroelektronik und als dekorative Beschichtungen verwendet. Wir bieten Zirkoniumnitrid-Sputter-Targets in verschiedenen Größen und Dicken an, die für unterschiedliche Abscheidungsverfahren und Anlagen geeignet sind.
Formel: ZrN
Dicke: 3 mm
Durchmesser: 50,8 mm
CAS-Nummer: 25658-42-8
UOM-Code: 510-475-35
SKU: 1000189747
Produktcode: ZR53-ST-000100

Oxidierend

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Materialeigenschaften für Compounds

Thermische Eigenschaften
Element Wert
Ausglühungspunkt( C ) 2980-50
Physikalische Eigenschaften
Element Wert
Density( gcm⁻³ ) 7.09
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