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Tantal - Sputtertarget

Formel: Ta

Lieferform: Sputtertarget

Material: Tantal

CAS-Nummer: 7440-25-7

Ware: Metals

Reinheit: 99.9%

Diese hochreinen Tantalscheiben eignen sich ideal für Dünnschichtanwendungen wie die Herstellung von Halbleiterbauteilen, optischen Beschichtungen und die Oberflächenmodifizierung von Materialien. Der hohe Schmelzpunkt, die gute elektrische Leitfähigkeit und die chemische Inertheit von Tantal machen es zu einem vielseitigen Sputtertargetmaterial sowohl für Forschungs- als auch für Industrieanwendungen.

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Materialeigenschaften für Metals

Atomic Properties

Element	Wert
Ordnungszahl	73
Kristallstruktur	Body centred cubic
Elektronenstruktur	Xe 4f¹⁴ 5d³ 6s²
angegebene Valenzen	2,3,4,5
Atomgewicht( amu )	180.9479
Thermischer Neutronenabsorptionsquerschnitt( Barns )	22
Photoelektrische Austrittsarbeit( eV )	4.1
Natürliche Isotopenverteilung( Mass No./% )	180/ 0.012
Natürliche Isotopenverteilung( Mass No./% )	181/ 99.988
Atomradius - Goldschmidt( nm )	0.147
Ionisationspotential( No./eV )	1/ 7.88
Ionisationspotential( No./eV )	2/ 16.2

Mechanische Eigenschaften

Element	Wert
Materialzustand	Hard
Materialzustand	Soft
Poissonsche Konstante	0.342
Poissonsche Konstante	0.342
Kompressionsmodul( GPa )	196.3
Kompressionsmodul( GPa )	196.3
E-modul im Zugversuch( GPa )	185.7
E-modul im Zugversuch( GPa )	185.7
Härte - Vickers( kgf mm⁻² )	200
Härte - Vickers( kgf mm⁻² )	90
Tensile strength( MPa )	760
Tensile strength( MPa )	172-207
Streckgrenze( MPa )	705
Streckgrenze( MPa )	310-380

Elektrische Eigenschaften

Element	Wert
Elektrischer Widerstand( µOhmcm )	13.5@20@20°C
Supraleitfähigkeit kritische Temperatur( K )	4.47
Temperaturkoeffizient( K⁻¹ )	0.0035@0-100°C
Therm. EMK gegenüber Pt (kalt 0C warm 100C)( mV )	0.33

Physikalische Eigenschaften

Element	Wert
Siedepunkt( C )	5425
Density( gcm⁻³ )	16.6@20°C

Thermische Eigenschaften

Element	Wert
Ausglühungspunkt( C )	2996
Latente Verdampfungswärme( J g⁻¹ )	4165
Latent heat of fusion( J g⁻¹ )	174
Spezifische Wärme( J K⁻¹ kg⁻¹ )	140@25°C
Wärmeleitfähigkeit( W m⁻¹ K⁻¹ )	57.5@0-100
Linearer Wärmeausdehnungskoeffizient( x10⁻⁶ K⁻¹ )	6.5@0-100°C