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Ruthenium - Sputtertarget

Formel: Ru

Lieferform: Sputtertarget

Material: Ruthenium

CAS-Nummer: 7440-18-8

Ware: Precious Metals

Reinheit: 99.9%

Aufgrund ihrer hohen Dichte, Härte und Korrosionsbeständigkeit eignen sie sich gut für den Einsatz als Sputtertarget in der Halbleiterindustrie zur Abscheidung dünner Rutheniumschichten. Sie können auch in anderen Beschichtungsprozessen verwendet werden, die ein Ruthenium-Quellmaterial erfordern. Mit ihren unterschiedlichen Größen und Reinheiten sind unsere Ruthenium-Sputter-Targets die ideale Rutheniumquelle für Forschung und industrielle Beschichtungsanwendungen.

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Materialeigenschaften für Precious Metals

Atomic Properties

Element	Wert
Ordnungszahl	44
Kristallstruktur	Hexagonal close packed
Elektronenstruktur	Kr 4d⁷ 5s¹
angegebene Valenzen	0,1,2,3,4,5,6,7,8
Atomgewicht( amu )	101.07
Thermischer Neutronenabsorptionsquerschnitt( Barns )	3
Photoelektrische Austrittsarbeit( eV )	4.71
Natürliche Isotopenverteilung( Mass No./% )	99/ 12.7
Natürliche Isotopenverteilung( Mass No./% )	96/ 5.5
Natürliche Isotopenverteilung( Mass No./% )	104/ 18.6
Natürliche Isotopenverteilung( Mass No./% )	98/ 1.9
Natürliche Isotopenverteilung( Mass No./% )	101/ 17.1
Natürliche Isotopenverteilung( Mass No./% )	100/ 12.6
Natürliche Isotopenverteilung( Mass No./% )	102/ 31.6
Atomradius - Goldschmidt( nm )	0.134
Ionisationspotential( No./eV )	2/ 16.8
Ionisationspotential( No./eV )	3/ 28.5
Ionisationspotential( No./eV )	1/ 7.36

Mechanische Eigenschaften

Element	Wert
Materialzustand	Hard
Materialzustand	Soft
Poissonsche Konstante	0.25
Poissonsche Konstante	0.25
Kompressionsmodul( GPa )	286
Kompressionsmodul( GPa )	286
E-modul im Zugversuch( GPa )	432
E-modul im Zugversuch( GPa )	432
Härte - Vickers( kgf mm⁻² )	750
Härte - Vickers( kgf mm⁻² )	350
Tensile strength( MPa )	495
Streckgrenze( MPa )	372

Elektrische Eigenschaften

Element	Wert
Elektrischer Widerstand( µOhmcm )	7.7@20@20°C
Supraleitfähigkeit kritische Temperatur( K )	0.49
Temperaturkoeffizient( K⁻¹ )	0.0041@0-100

Physikalische Eigenschaften

Element	Wert
Siedepunkt( C )	3900
Density( gcm⁻³ )	12.2@20

Thermische Eigenschaften

Element	Wert
Ausglühungspunkt( C )	2310
Latente Verdampfungswärme( J g⁻¹ )	5610
Latent heat of fusion( J g⁻¹ )	252
Spezifische Wärme( J K⁻¹ kg⁻¹ )	238@20°C
Wärmeleitfähigkeit( W m⁻¹ K⁻¹ )	117@0-100°C
Linearer Wärmeausdehnungskoeffizient( x10⁻⁶ K⁻¹ )	9.6@0-100°C