Hochfester und hervorragend verarbeitbarer Keramikwerkstoff mit guter Wärmeleitfähigkeit, elektrischen Isolationseigenschaften sowie niedrigem Ausdehnungskoeffizienten
Aufgrund ihrer hohen Dichte, Härte und Korrosionsbeständigkeit eignen sie sich gut für den Einsatz als Sputtertarget in der Halbleiterindustrie zur Abscheidung dünner Rutheniumschichten. Sie können auch in anderen Beschichtungsprozessen verwendet werden, die ein Ruthenium-Quellmaterial erfordern. Mit ihren unterschiedlichen Größen und Reinheiten sind unsere Ruthenium-Sputter-Targets die ideale Rutheniumquelle für Forschung und industrielle Beschichtungsanwendungen.
