Hochfester und hervorragend verarbeitbarer Keramikwerkstoff mit guter Wärmeleitfähigkeit, elektrischen Isolationseigenschaften sowie niedrigem Ausdehnungskoeffizienten
Diese Scheiben sind in 6 verschiedenen Durchmessern und Dicken erhältlich und eignen sich ideal für reaktive Sputterverfahren zur Herstellung einheitlicher LI2TiO3-Schichten. Mit ihren ausgezeichneten dielektrischen Eigenschaften und ihrer chemischen Stabilität werden Lithiumtitanoxid-Schichten in optischen Beschichtungen, Wellenleitern und in der Mikroelektronik eingesetzt. Die kontrollierte Zusammensetzung und die dichte Mikrostruktur dieser Sputtertargets sorgen dafür, dass stets zuverlässige, qualitativ hochwertige Dünnschichten entstehen.