Batteriewerkstoff Lithiumtitanat - Sputtertarget

Diese Scheiben sind in 6 verschiedenen Durchmessern und Dicken erhältlich und eignen sich ideal für reaktive Sputterverfahren zur Herstellung einheitlicher LI2TiO3-Schichten. Mit ihren ausgezeichneten dielektrischen Eigenschaften und ihrer chemischen Stabilität werden Lithiumtitanoxid-Schichten in optischen Beschichtungen, Wellenleitern und in der Mikroelektronik eingesetzt. Die kontrollierte Zusammensetzung und die dichte Mikrostruktur dieser Sputtertargets sorgen dafür, dass stets zuverlässige, qualitativ hochwertige Dünnschichten entstehen.

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