Hochfester und hervorragend verarbeitbarer Keramikwerkstoff mit guter Wärmeleitfähigkeit, elektrischen Isolationseigenschaften sowie niedrigem Ausdehnungskoeffizienten
Diese hochreinen Aluminiumnitridscheiben sind in 2 Varianten erhältlich und zeichnen sich durch außergewöhnliche Wärmeleitfähigkeit, elektrischen Widerstand und Härte aus. Mit Anwendungen in der Mikroelektronik, Optoelektronik und Photovoltaik ermöglichen sie eine präzise Dünnschichtabscheidung für fortschrittliche Halbleitergeräte, LEDs, Laserdioden und Solarzellen. Aufgrund ihrer gleichmäßigen Zusammensetzung und dichten Struktur eignen sich diese Sputtertargets ideal für die Herstellung glatter, defektfreier Nitridschichten durch Magnetronsputtern oder Ionenstrahlabscheidung.