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Aluminium - Sputtertarget

Formel: Al

Lieferform: Sputtertarget

Material: Aluminium

CAS-Nummer: 7429-90-5

Ware: Metals

Reinheit: 99.999%

Sie weisen Eigenschaften wie hohe thermische und elektrische Leitfähigkeit, geringe Dichte und Korrosionsbeständigkeit auf. Diese Scheiben können als Sputtertargets bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen verwendet werden, um mit Hilfe des Magnetron-Sputterns gleichmäßige Aluminiumschichten abzuscheiden. Sie können auch als Röntgentargets für analytische Techniken wie die Röntgenfluoreszenzspektroskopie verwendet werden. Dank des breiten Spektrums an Größenoptionen, die wir anbieten, bieten Aluminium-Sputtertargets Flexibilität bei der Entwicklung und Prüfung von Sputtersystemen.

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Materialeigenschaften für Metals

Atomic Properties

Element	Wert
Ordnungszahl	13
Kristallstruktur	Face centred cubic
Elektronenstruktur	Ne 3s² 3p¹
angegebene Valenzen	3
Atomgewicht( amu )	26.98154
Thermischer Neutronenabsorptionsquerschnitt( Barns )	0.232
Photoelektrische Austrittsarbeit( eV )	4.2
Atomradius - Goldschmidt( nm )	0.143
Ionisationspotential( No./eV )	4/ 120
Ionisationspotential( No./eV )	5/ 154
Ionisationspotential( No./eV )	6/ 190
Ionisationspotential( No./eV )	1/ 5.99
Ionisationspotential( No./eV )	3/ 28.4
Ionisationspotential( No./eV )	2/ 18.8

Mechanische Eigenschaften

Element	Wert
Materialzustand	Soft
Materialzustand	Hard
Poissonsche Konstante	0.345
Poissonsche Konstante	0.345
Kompressionsmodul( GPa )	75.2
Kompressionsmodul( GPa )	75.2
E-modul im Zugversuch( GPa )	70.6
E-modul im Zugversuch( GPa )	70.6
Härte - Vickers( kgf mm⁻² )	21
Härte - Vickers( kgf mm⁻² )	35-48
Tensile strength( MPa )	130-195
Tensile strength( MPa )	50-90
Streckgrenze( MPa )	110-170
Streckgrenze( MPa )	Oct-35

Elektrische Eigenschaften

Element	Wert
Elektrischer Widerstand( µOhmcm )	2.67@20@20°C
Supraleitfähigkeit kritische Temperatur( K )	1.175
Temperaturkoeffizient( K⁻¹ )	0.0045@0-100°C
Therm. EMK gegenüber Pt (kalt 0C warm 100C)( mV )	0.42

Physikalische Eigenschaften

Element	Wert
Siedepunkt( C )	2467
Density( gcm⁻³ )	2.7@20°C

Thermische Eigenschaften

Element	Wert
Ausglühungspunkt( C )	660.4
Latente Verdampfungswärme( J g⁻¹ )	10800
Latent heat of fusion( J g⁻¹ )	388
Spezifische Wärme( J K⁻¹ kg⁻¹ )	900@25°C
Wärmeleitfähigkeit( W m⁻¹ K⁻¹ )	237@0-100°C
Linearer Wärmeausdehnungskoeffizient( x10⁻⁶ K⁻¹ )	23.5@0-100°C