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Cible de pulvérisation cathodique en nitrure de silicium pressé à chaud

Composition: Si₃N₄

Forme: Cible de pulvérisation

Matériau: nitrure de silicium pressé à chaud

Catégorie: Ceramics

Méthode De Production: Pressage à chaud

La cible de pulvérisation cathodique en nitrure de silicium pressé à chaud est un produit de la gamme Goodfellow disponible en 6 variantes. La composition de ces cibles en nitrure de silicium leur confère des propriétés telles qu'une grande dureté, une résistance à l'usure et une inertie chimique, ce qui les rend utiles pour les applications de dépôt de couches minces telles que les revêtements protecteurs, les dispositifs semi-conducteurs et les revêtements optiques.

Favoris

Fiche technique Fiche de données de sécurité Tolérance Propriétés

par unité

Propriétés des matériaux pour Ceramics

Résistance chimique

Element	Valeur
Acides - concentrés	Fair
Acides - dilués	Good
Alcalins	Good-Poor
Halogènes	Good
Métaux	Fair

Propriétés électriques

Element	Valeur
Constante diélectrique	10
Résistivité volumique( Ohmcm )	10¹²-10¹⁵@25

Propriétés physiques

Element	Valeur
Absorption d'eau - saturation( % )	0
Density( gcm⁻³ )	3.11

Propriétés thermiques

Element	Valeur
Point de Sublimation( C )	1900
Temp. maximale d'utilisation continue( C )	1100-1650
Chaleur spécifique( J K⁻¹ kg⁻¹ )	680-800@25°C
Conductivité thermique( W m⁻¹ K⁻¹ )	15-43@20°C
Coefficient d'expansion thermique( x10⁻⁶ K⁻¹ )	3.3@20-1000°C