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Cible de pulvérisation cathodique en tantale

Composition: Ta

Forme: Cible de pulvérisation

Matériau: tantale

Numéro CAS: 7440-25-7

Catégorie: Metals

Pureté: 99.9%

La cible de pulvérisation cathodique en tantale est un produit de la gamme Goodfellow disponible en 8 variantes. Ces cibles de pulvérisation en tantale de haute pureté sont idéales pour les applications de dépôt de couches minces telles que la fabrication de dispositifs semi-conducteurs, les revêtements optiques et la modification de la surface des matériaux. Le point de fusion élevé du tantale, sa bonne conductivité électrique et son inertie chimique en font un matériau cible de pulvérisation polyvalent, tant pour la recherche que pour les applications industrielles.

Favoris

Fiche technique Fiche de données de sécurité Tolérance Propriétés

par unité

Propriétés des matériaux pour Metals

Atomic Properties

Element	Valeur
Numéro atomique	73
Structure de cristal	Body centred cubic
Structure électronique	Xe 4f¹⁴ 5d³ 6s²
Valences indiquées	2,3,4,5
Poids atomique( amu )	180.9479
Sect. efficace d'absorp. des neutrons therm.( Barns )	22
Fonction de travail photo-électrique( eV )	4.1
Distribution isotopique naturelle( Mass No./% )	180/ 0.012
Distribution isotopique naturelle( Mass No./% )	181/ 99.988
Rayon atomique - Goldschmidt( nm )	0.147
Potentiel d'ionisation( No./eV )	1/ 7.88
Potentiel d'ionisation( No./eV )	2/ 16.2

Propriétés mécaniques

Element	Valeur
Condition du matériau	Hard
Condition du matériau	Soft
Coefficient de Poisson	0.342
Coefficient de Poisson	0.342
Module d'élasticité cubique( GPa )	196.3
Module d'élasticité cubique( GPa )	196.3
Module de tension( GPa )	185.7
Module de tension( GPa )	185.7
Dureté - Vickers( kgf mm⁻² )	200
Dureté - Vickers( kgf mm⁻² )	90
Tensile strength( MPa )	760
Tensile strength( MPa )	172-207
Tension de fluage( MPa )	705
Tension de fluage( MPa )	310-380

Propriétés électriques

Element	Valeur
Résistivité( µOhmcm )	13.5@20@20°C
Température critique de superconductivité( K )	4.47
Coefficient de température( K⁻¹ )	0.0035@0-100°C
EMF therm. sur Pt (froid 0C - chaud 100C)( mV )	0.33

Propriétés physiques

Element	Valeur
Point d'ébullition( C )	5425
Density( gcm⁻³ )	16.6@20°C

Propriétés thermiques

Element	Valeur
Point de fusion( C )	2996
Chaleur latente d'évaporation( J g⁻¹ )	4165
Latent heat of fusion( J g⁻¹ )	174
Chaleur spécifique( J K⁻¹ kg⁻¹ )	140@25°C
Conductivité thermique( W m⁻¹ K⁻¹ )	57.5@0-100
Coefficient d'expansion thermique( x10⁻⁶ K⁻¹ )	6.5@0-100°C