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Cible de pulvérisation cathodique en ruthénium

Composition: Ru

Forme: Cible de pulvérisation

Matériau: ruthénium

Numéro CAS: 7440-18-8

Catégorie: Precious Metals

Pureté: 99.9%

La cible de pulvérisation cathodique en ruthénium est un produit de la gamme Goodfellow disponible en 8 variantes. Leur densité élevée, leur dureté et leur résistance à la corrosion en font des cibles de pulvérisation idéales pour le dépôt de couches minces de ruthénium utilisées dans l'industrie des semi-conducteurs. Ils peuvent également être utilisés dans d'autres procédés de revêtement nécessitant une source de ruthénium. Nos cibles de pulvérisation cathodiques en ruthénium constituent une source de ruthénium idéale pour la recherche et les applications de revêtement industrielles.

Favoris

Fiche technique Fiche de données de sécurité Tolérance Propriétés

par unité

Propriétés des matériaux pour Precious Metals

Atomic Properties

Element	Valeur
Numéro atomique	44
Structure de cristal	Hexagonal close packed
Structure électronique	Kr 4d⁷ 5s¹
Valences indiquées	0,1,2,3,4,5,6,7,8
Poids atomique( amu )	101.07
Sect. efficace d'absorp. des neutrons therm.( Barns )	3
Fonction de travail photo-électrique( eV )	4.71
Distribution isotopique naturelle( Mass No./% )	99/ 12.7
Distribution isotopique naturelle( Mass No./% )	96/ 5.5
Distribution isotopique naturelle( Mass No./% )	104/ 18.6
Distribution isotopique naturelle( Mass No./% )	98/ 1.9
Distribution isotopique naturelle( Mass No./% )	101/ 17.1
Distribution isotopique naturelle( Mass No./% )	100/ 12.6
Distribution isotopique naturelle( Mass No./% )	102/ 31.6
Rayon atomique - Goldschmidt( nm )	0.134
Potentiel d'ionisation( No./eV )	2/ 16.8
Potentiel d'ionisation( No./eV )	3/ 28.5
Potentiel d'ionisation( No./eV )	1/ 7.36

Propriétés mécaniques

Element	Valeur
Condition du matériau	Hard
Condition du matériau	Soft
Coefficient de Poisson	0.25
Coefficient de Poisson	0.25
Module d'élasticité cubique( GPa )	286
Module d'élasticité cubique( GPa )	286
Module de tension( GPa )	432
Module de tension( GPa )	432
Dureté - Vickers( kgf mm⁻² )	750
Dureté - Vickers( kgf mm⁻² )	350
Tensile strength( MPa )	495
Tension de fluage( MPa )	372

Propriétés électriques

Element	Valeur
Résistivité( µOhmcm )	7.7@20@20°C
Température critique de superconductivité( K )	0.49
Coefficient de température( K⁻¹ )	0.0041@0-100

Propriétés physiques

Element	Valeur
Point d'ébullition( C )	3900
Density( gcm⁻³ )	12.2@20

Propriétés thermiques

Element	Valeur
Point de fusion( C )	2310
Chaleur latente d'évaporation( J g⁻¹ )	5610
Latent heat of fusion( J g⁻¹ )	252
Chaleur spécifique( J K⁻¹ kg⁻¹ )	238@20°C
Conductivité thermique( W m⁻¹ K⁻¹ )	117@0-100°C
Coefficient d'expansion thermique( x10⁻⁶ K⁻¹ )	9.6@0-100°C