Cible de pulvérisation cathodique en oxyde de lithium-manganèse

La cible de pulvérisation cathodique en oxyde de lithium-manganèse est un produit de la gamme Goodfellow disponible en 6 variantes. L'orthosilicate de lithium se caractérise par une densité élevée, une faible dilatation thermique et une excellente durabilité chimique. Il est couramment utilisé comme cible de pulvérisation pour les revêtements en couches minces dans les applications électroniques, optiques et semi-conductrices, où des propriétés telles que la dureté, la stabilité à haute température et la faible conductivité électrique sont recherchées.