Yttriumoxid-stabilisiertes Zirconiumdioxid - Sputtertarget

Sie sind in 3 Varianten erhältlich und zeichnen sich durch hervorragende dielektrische Eigenschaften und hohe Bruchzähigkeit aus, während der Zusatz von Yttriumoxid zu Zirkoniumdioxid ihnen eine Temperaturwechselbeständigkeit verleiht. Aufgrund dieser Eigenschaften eignen sie sich für Dünnfilmbeschichtungen und Wärmeschutzanwendungen, die mit Magnetron-Sputterverfahren aufgebracht werden. Mit Durchmessern von bis zu 3 Zoll bietet dieses Sortiment den Forschern Flexibilität bei der Integration dieser Scheiben in kundenspezifische Sputtersysteme.