1824 in Stockholm von J.J. Berzelius entdeckt. Nach Kohlenstoff ist Silicium das häufigste Element auf der Erde (277.000 ppm). Es tritt im allgemeinen als Silikat auf. Silikate sind in vielen Fels-, Lehm- und Erdarten enthalten. Silicium wird durch Reduktion von Kieselerde (Sand SiO₂) mit Kohlenstoff gewonnen. Anwendungen, die Silicium von großer Reinheit erfordern (z.B. Halbleitergeräte), wird das Element im Zonenschmelzverfahren noch weiter gereinigt. Die dabei erreichte Reinheit ist höher als 1:10⁹. Silicium kommt in zwei allotropen Formen vor: Braunes Silicium ist ein Pulver, während kristallines (metallisches) Silicium grau ist. Letzteres wird häufiger benutzt. In großer Menge auftretendes Silicium reagiert nicht mit Sauerstoff, Wasser oder Säuren (außer Flußsäure), ist jedoch in heißen, alkalischen Substanzen löslich. Silicium wird in vielen industriellen Bereichen verwendet. Aufgrund seiner Halbleitereigenschaften wird extrem hochreines Silicium, z.B. in der Halbleiterindustrie eingesetzt. Darüber hinaus wird es als Legierungszusatz bei der Herstellung bestimmter Legierungen verwendet, wie z.B. Ferrosilicium, einer Legierung von Eisen und Silicium, über die Silicium Stahl und Gußeisen zugesetzt wird. Silicium wird außerdem bei der Glasherstellung verwendet.
Sputtertarget - Hochreines Material, das zum Sputtern benutzt wird: Es ist ein Kaltaufdampfverfahren, wobei durch Ionenbeschuß Atome physisch von der Targetoberfläche gelöst werden.
