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    • Palladium - Sputtertarget

      Palladium - Sputtertarget

      1803 in London von W.H. Woollaston entdeckt. Palladium ist ein zu den Platinmetallen gehörendes chemisches Element. Es ist silberweiß, verform- und schmiedbar und zudem eines der reaktivsten Elemente der Gruppe. Es kommt in der Erdkruste mit einer Häufigkeit von 6x10⁻⁶ vor. Palladium verfügt über gute Korrosionsbeständigkeit, ist aber in Säuren und flüssigen Alkalien löslich. Palladium vermag Wasserstoff bis zum 900-fachen seines eigenen Volumens aufzunehmen, es wird jedoch hauptsächlich als Katalysator für Reaktionen der Wasserstoffanlagerung eingesetzt. Palladium wird zudem in der Elektronikindustrie und bei der Herstellung von Zahnersatz verwendet.

      Hochreines Material, das zum Sputtern benutzt wird: Es ist ein Kaltaufdampfverfahren, wobei durch Ionenbeschuß Atome physisch von der Targetoberfläche gelöst werden.

      Sputtertarget

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