Beryllium wurde 1797 von N.L. Vauquelin in Paris entdeckt, jedoch erst 1828 von Wohler (Berlin) und A.A.B. Bussy (Paris) extrahiert. Beryllium ist ein leichtes, glänzendes Metall, das durch Elektrolyse eines verflüssigten Halogenids gewonnen wird (z.B. BeCl₂). Beryllium wird weder von Luft noch von Wasser angegriffen, sogar bei erhöhten Temperaturen (Rotglühhitze). Beryllium ist nicht magnetisch, ein guter Wärmeleiter und wird als Legierzusatz für Kupfer und Nickel verwendet. Beryllium-Legierungen verfügen über ausgezeichnete thermische, mechanische und elektrische Eigenschaften. Darüber hinaus weist die Legierung von Beryllium mit Nickel den höchsten Koeffizienten für sekundäre Elektronen-Emission auf (12,3). Reines Beryllium wird für Fenster in Röntgenröhren und als Neutronenquelle beim Beschuß mit Alpha-Teilchen eingesetzt. Hierbei handelt es sich um ein Verfahren, das von Chadwick 1932 bei der Entdeckung der Alpha-Teilchen angewendet wurde. Beryllium und seine Verbindungen sind hochgiftig; das Einatmen von Berylliumstaub führt zur Berylliosis, einer Lungenkrankheit.
Sputtertarget - Hochreines Material, das zum Sputtern benutzt wird: Es ist ein Kaltaufdampfverfahren, wobei durch Ionenbeschuß Atome physisch von der Targetoberfläche gelöst werden.
